De samenwerking betreft Asml's zogeheten 'immersion lithography'. De markt voor deze technologie wordt door analisten in 2005 ingeschat op een omvang van 230 miljoen dollar. Nu is deze nog onbestaande. Volgens de immersion-technologie wordt de lucht tussen siliconenwafers en lenzen vervangen door vloeistof. Dit verbetert de diepte en focus van het lithografieproces. Hierdoor kunnen kleinere chips worden gefabriceerd.

De samenwerking betreft Asml's zogeheten 'immersion lithography'. De markt voor deze technologie wordt door analisten in 2005 ingeschat op een omvang van 230 miljoen dollar. Nu is deze nog onbestaande. Volgens de immersion-technologie wordt de lucht tussen siliconenwafers en lenzen vervangen door vloeistof. Dit verbetert de diepte en focus van het lithografieproces. Hierdoor kunnen kleinere chips worden gefabriceerd.