Imec successen op Semicon West

Nano-onderzoekscentrum Imec presenteerde een rist doorbraken op het chipproductiecongres Semicon West in San Francisco.

Nano-onderzoekscentrum Imec presenteerde een rist doorbraken op het chipproductiecongres Semicon West in San Francisco.

Semicon West brengt de hoofdspelers in het productieproces van chips bij elkaar, zowel gebruikers van belichtingssystemen als verpakkers en de hele ecologie van toeleveranciers. Dit jaar pakte het Leuvense Imec uit met een aantal successen, in het bijzonder in de wereld van extreem-ultraviolet belichting. Zo produceerde Imec de eerste siliciumschijven met behulp van ASML’s NXE:3100 extreem-ultravioletbelichter, gecombineerd met een krachtige lichtbron van Xtreme Technologies. Dit resulteert al in een snellere productie dan met ASML’s eerste Alpha Demo Tool. Met een nog krachtiger verlichtingsbron wordt tegen begin 2012 gemikt op een productiecapaciteit van zestig 300mm-silicium wafers per uur. Tegelijk werd aangetoond dat elektronische elementen kleiner dan 22nm kunnen worden ‘gebakken’ – een cruciale stap voor het verdere verloop van Moore’s law. Ook het afhandelingssysteem van de wafers zelf en in het bijzonder de bescherming van de maskers, werd verbeterd in samenwerking met SUSS Microtec. Dank zij deze bijdragen maakt Imec zich sterk dat de massaproductie van chips in een 16nm technologie mogelijk is tegen 2013. Momenteel vormt 22nm de grens voor massaproductie.

Daarnaast toonde Imec doorbraken in de ontwikkeling van nieuwe types werkgeheugen, zoals MIMcap (metal-insulator-metal capacitor) als alternatief voor Dram geheugen, en Resistive Ram als alternatief voor de huidige niet-vlucihtige geheugens. Voorts toonde Imec ook een ‘3D stack’ met een Dram chip bovenop een bedrijfseigen logicchip, met het oog op gebruik in stroomzuinige mobiele systemen.